产品规格�?/p>

车规级（Z级）

研发型（D级）

直径		149.5 mm-150.0 mm
晶型		4H
厚度		350 μm±15 μm
晶片方向		偏转角度：向<11-20>偏转4.0±0.5°
微管密度		�?.2 cm-2
电阻玆�/td>		0.015-0.024 Ω·cm
主定位边方向		{10-10} ±5.0°
主定位边长度		47.5 mm±2.0 mm
边缘去除		3 mm
局部厚度变�?总厚度变�?弯曲�?翘曲�?/td>		�?.5 μm/�? μm/�?5 μm/�?5 μm
表面粗糙�?/td>		抛光 Ra� 1 nm
		CMP Ra� 0.2 nm
边缘裂纹（强光灯观测（�/td>		—–�/td>
六方空洞（强光灯观测（�/td>		累积面积 � 0.05%
多型（强光灯观测（�/td>		—–�/td>
目测包裹物（日光灯观测）		累积面积 � 0.05%
硅面划痕（强光灯观测（�/td>		—–�/td>
崩边（强光灯观测（�/td>		不允许宽度≥ 0.2 mm，深度≥ 0.2 mm
穿透螺位错		� 500 cm-2
硅面污染�?强光灯观�?		—–�/td>
包装		多片卡塞 / 单片盒包�?nbsp;