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盒式对盒式集簇式真空传输系统?多支?个工艺腔、br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: " microsoft="" font-size:="" text-wrap:="" background-color:=""/> 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统，符合SEMI标准。通过闸板阀与传输腔室连接，晶圆在卡夹中放置状态自动扫描、br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: " microsoft="" font-size:="" text-wrap:="" background-color:=""/> 在线式晶圆与对准机构，高可靠性真空晶圆传输机械手、br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: " microsoft="" font-size:="" text-wrap:="" background-color:=""/> 传输配置独立的干泵，本底真空?.5mTorr、br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: " microsoft="" font-size:="" text-wrap:="" background-color:=""/> 单个VCE单次VCE放片量≤25牆/p>
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