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六边形真空传输腔?多支?个工艺腔、br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/> 满足半导体标准的配方驱动及管理软件控制系统，符合SEMI标准、br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/> 传输平台系统漏率?mTorr/min、br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/> VCE/TM腔体抽真空到10mTorr?80s、br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/> 两个VCE单次VCE放片量≤25牆/p>
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