� 带有信号反馈和可靠的碰撞保护功能、�br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>� 磁流体中间环节保证腔体内部真空压力与洁净、�br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>� 手动放取物料，边缘定位、�br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>� 运动范围�?*到达距离 310mm(距腔口外�?、�br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>� 重复精度：�?.2mm、�br style="color: rgb(102, 102, 102); font-family: "Microsoft YaHei"; font-size: 14px; text-wrap: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255);"/>� 真空度：�?x10-9 Torr、�/p>