东莞市中微力合半导体科技有限公司
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产品详情
蜂窝?/div>
蜂窝垫的图片
参考报价:
面议
品牌9/dt>
中微力合
关注度:
111
样本9/dt>
暂无
型号9/dt>
蜂窝
产地9/dt>
广东
信息完整度:
典型用户9/dt>
暂无
索取资料及报件/a>
认证信息
高级会员 1平/div> 称: 东莞市中微力合半导体科技有限公司
证:工商信息已核宝br /> 访问量:1836
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产品简今/div>

产品概述

主要优点在于孔深度比目前市面上的要深,故使用寿命长。孔间距跟孔大小比例优化**,配上我司自主研发的聚晶金刚石液磨削效率极高、/span>

产品可以定制化,**一整张可以做到1300mm。产品不属于危险品,无需特殊包装,运输途中勿弯折即可、/span>

应用领域

本蜂窝垫主要用于半导体晶圆片,如:蓝宝石、碳化硅晶圆及所有超硬脆材料的超精细研磨、/span>

产品特点

  • 片材冲切,蜂窝网格槽结构均匀:/span>

  • 背胶耐高温,粘性强,换盘不易残胶,表面平整:/span>

  • 研磨精度高;

  • 肓孔深度深,使用寿命长;

  • 孔间距大小比例优?*,配上我司自主研发的聚晶金刚石液磨削效果**:/span>

  • 可替代铜盘工艺,节能、环保、无污染、/span>

产品规格及验证参?/span>

材料去除玆br style="box-sizing: border-box;"/>金刚石液D50 碳化硄br style="box-sizing: border-box;"/>晶圆 蓝宝矲br style="box-sizing: border-box;"/>C吐/span> 氧化锅br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷 氧化铜br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷 氮化铜br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷 氧化硄/span>
ZW-301(3μm) 2 2.5 3.5 4 3 3
ZW-302(2μm) 1.5 1.6 3 3 2.5 2.3
ZW-303(1.5μm) 1 1.2 2 2.5 2 1.5
ZW-401(1μm) 0.8 1 1.2


ZW-501(0.5μm) 0.4 0.5 0.8


ZW-601(0.2μm) 0.2 0.3



ZW-40




2.5
不同型号磨液对应不同加工材料去除率;单位:μm/min (数据来源:中微实验室)


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