产品概述

金刚石研磨垫是利用金刚石微粉与树脂复合而成的，具有超高的磨削效率和磨削精度，且使用寿命长、�/span>

典型工艺９�/span>金刚石盘粗磨–金刚石盘中磨–减薄垫超精细研磨–抛光垫抛光成型、�/span>

尺寸９�/span>直径50-3000mm

粒度(50D)９�/span>50μm/30μm/20μm/9μm/4μm;

应用领域

主要用于芯片(单晶硅、蓝宝石LED衬底、第三代半导体单晶碳化硅)、陶瓷片、手机玻璃面板等超精细研磨抛光工序、�/span>

产品特点

• 材料去除率极高、�/span>

• 无需使用游离磨料、降低加工耗材成本，只需加水，更加环保、�/span>

• 无需更换生产设备、�/span>

• 可双面研磨，保证工件平面度、�/span>

• 固结磨料硬度适中，修盘速度快、�/span>

产品规格及验证参�?/span>

设备�?B双面研磨机（直径�?40mm,内径�?35mm� 压力�?38KG;

转速：40RPM; 液流�?助磨液：15ml/min; 切削液：30ml/min;

材料去除玆�br style="box-sizing: border-box;"/>研磨垫型叶�/span>	蓝宝矲�br style="box-sizing: border-box;"/>C吐�/span>	氧化锅�br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷	氧化铜�br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷	氮化铜�br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷	玻璃	氧化氧化硅硅
50 μm	40	10	45	30	150	3
30 μm	20	5	30	20	80
20 μm	15	2	20	15	50
9 μm	10				30
4 μm	5				20