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概述
JHQ-410系列激光划片机，配置进口激光器，加工效率高，质量稳定， 设备简单易操作；提供传统矩形GPP晶圆的全切割/半切割划片方式， 可升级提供六边形划切（三角形切割方式）、br style="box-sizing: border-box; line-height: 32px; max-width: 100%; height: auto !important;"/>全系列产品分为四款设备：
JHQ-41 0. JHQ-410Z两款设备支持划切产品为正面沟槽去除玻璃后 GPP产品或晶圆背面制作标记图形的产品。正面对准正面划切，不支 底部对准功能、br style="box-sizing: border-box; line-height: 32px; max-width: 100%; height: auto !important;"/> JHQ-41 0D和JHQ-41 0DZ两款设备拥有独特的双光路系统，为单面 刻晶圆提供了背面划切方案与背面打标方案。正面对准正?背面划切 支持底部对准功能、br style="box-sizing: border-box; line-height: 32px; max-width: 100%; height: auto !important;"/>性能指标
划切参数 |
划切对象 |
4寸至6寸GPP晶圆和硅晶圆 |
划切方式 |
等距矩形切割，支持三角形切割（手动对准） |
|
激光参?/p> |
光纤激光器?*功率20W |
|
划切速度 |
W250mm/s |
|
切割精度 |
±0.003mm |
|
切割线宽 |
0.035-0.055mm |
|
切割深度 |
<0.12mm |
|
工作台参?/span> |
工作范围 |
220mm*200mm |
工作台分辨率 |
0.0005mm |
|
旋转电机行程 |
360° 185° |
|
旋转电机定位精度 |
30“/p> |
|
Z向定位精?/p> |
0.01mm |
|
Z向激光调焦行稊/p> |
20mm |
|
其他 |
自动对位范围 |
35mil-305mil |
自动对位精度 |
0.01mm |
|
外形尺寸 (WxDxH) mm |
JHQ-410/JHQ-410D |
760x1165x1650 |
JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ |
940x1165x1650 |
|
设备重重kg |
JHQ-410/JHQ-410D |
750 |
JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ |
800 |
产品特色
●底部对凅br style="box-sizing: border-box; line-height: 32px; max-width: 100%; height: auto !important;"/> ●背面打栆br style="box-sizing: border-box; line-height: 32px; max-width: 100%; height: auto !important;"/> ●自动上下料
●自动对佌/p>
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