Zeta-388 白光共聚�?/span>

Zeta-388支持3D量测和成像功能，并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统，可实现全自动测量。该系统采用ZDot^?技术，可同时采集高分辨玆�/span>3D数据咋�/span>True Color（真彩）无限远焦点图像、�/span>Zeta-388具备Multi-Mode（多模式）光学系统、简单易用的软件、低拥有成本，以叉�/span>SECS / GEM通信，适用于研发及生产环境、�/span>

产品描述

Zeta-388光学轮廓仪是一种非接触弎�/span>3D表面形貌测量系统、�/span>Zeta-388继承亅�/span>Zeta-300的功能，并增加了晶圆盒至晶圆盒机械臂，可实现全自动测量。该系统采用获得**皃�/span>ZDot^?技术和Multi-Mode (多模弎�/span>)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度、�/span>

Zeta-388的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术、�/span>ZDot^?测量模式可同时收集高分辨玆�/span>3D扫描咋�/span>True Color无限远焦距图像。其仕�/span>3D测量技术包括白光干涉测量�?/span>Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量、�/span>ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量、�/span>Zeta-388也是一款高端显微镜，可用于样品检查或自动缺陷检测、�/span>Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，以及晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送，适用于研发及生产环境、�/span>

主要功能

��采用ZDot咋�/span>Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应�?/span>

��可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜

��ZDot：同时采集高分辨玆�/span>3D数据咋�/span>True Color（真彩）无限远焦点图僎�/span>

��ZXI：白光干涉测量技术，适用亍�/span>z向分辨率高的广域测量

��ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据

��ZSI：剪切干涉测量技术提侚�/span>z向高分辨率图僎�/span>

��ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射玆�/span>

��AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化

��生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量

��晶圆传送机械臂:自动加载直径丹�/span>50mm臲�/span>200mm的不透明（如硅）和透明（如蓝宝石）样品

主要应用

��台阶高度：纳米到毫米级别皃�/span>3D台阶高度

��纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度

��外形９�/span>3D翘曲和形犵�/span>

��应力９�/span>2D薄膜应力

��薄膜厚度９�/span>30nm�?/span>100��m透明薄膜厚度

��缺陷检测：捕获大于1��m的缺陶�/span>

��缺陷复检：采�?/span>KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置