全自动化&高集成度&可视化光斐�/strong>

一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案、�/p>

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主要特点

1. 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高

2. 技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品，自动去除样品的背反射信号，使得数据分析更简�?

3. 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测诔�/p>

4. 全自动集成度高，安装维护简侾�/p>

5. 一键式操作软件，快速简協�/p>

6. 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀�?/p>

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技术参�?/span>

1. 光谱范围�?50-1000 nm

2. 多种微光斑自动选择

3. 光斑可视技术，可观测任何样品表靡�/p>

4. 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高�?35mm

5. 70度角入射

6. CCD探测�?/p>

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