KLA 探针式表面轮廓仪（台阶仪� P-17

P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进衋�/span>2D咋�/span>3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接、�/span>

产品描述

P-17是第八代台式探针轮廓仪（台阶仪），是40多年的表面量测经验的结晶。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进衋�/span>2D咋�/span>3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接、�/span>

该系统结合了UltraLite^?传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性、�/span>通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速、�/span>P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支�?/span>2D戕�/span>3D测量、�/span>并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量、�/span>

主要功能

��台阶高度：几纳米臲�/span>1000��m

��微力恒力控制９�/span>0.03臲�/span>50mg

��样品全直径扫描，无需图像拼接

��视频９�/span>500万像素高分辨率彩色摄像机

��圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误�?/span>

��软件：简单易用的软件界面

��生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用

��台阶高度９�/span>2D咋�/span>3D台阶高度

��纹理９�/span>2D咋�/span>3D粗糙度和波纹�?/span>

��形状９�/span>2D咋�/span>3D翘曲和形犵�/span>

��应力９�/span>2D咋�/span>3D薄膜应力

��缺陷复检９�/span>2D咋�/span>3D缺陷表面形貌

工业应用

��大学、研究实验室和研究所

��半导体和化合物半导体

��LED：发光二极管

��太阳胼�/span>

��MEMS：微机电系统

��数据存储

��汽车

��医疗设备

��还有更多：请与我们联系以满足您的要求