Fastmicro仪器表面颗粒物分析仪（SAS（�/span>

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪，是一款基于“胶带粘取”采样技术的表面污染检测工具，可通过间接测量方式识别小至 0.5um 的颗粒污染物。其配备的专� PMC 采样卡能在各类表面（包括难以触及区域和高粗糙度表面）实现灵活采样，且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完� 225 mm2 采样区域的分析，确保快速获得精准检测结果。搭� 2 英寸晶圆支架，也可对沉降颗粒进行检测，满足跨行业复杂场景的检测需求、�/p>

产品特点

• 符合 ISO 14644-9 标准：在用户界面生成具有认证� PDF 报告

• 检测范围：可检测低� 0.5 um 颗粒

• 稳定�?0% 采集效率 | >90% 重复�?/p>

• 快速：10 秒完成检浊�/p>

数秒内完成表面清洁度测量

快逞�成像仅需数秒

定量:可溯源的定量化结枛�/span>

操作简侾�操作结果不受操作人员影响

�?nbsp;用于产线质量管控的即时判宙�/span>

� 用于研发人员的进一步数据分枏�/span>

� 用于监测、快速验证和统计过程控制

精准:高分辨率测量（数量、位置、尺寸）

稳定:多次测量结果高重复�?nbsp;

高通量:即时给出合格/不合格结枛�/span>

仪器表面颗粒物分析仪（SAS（�/span>

该系该仪器通过采样器间接测量表面颗粒污染水平。使用采样器方便用户随时在各种产品和组件上采集颗粒污染样本、�/span>

使用采样器进行间接测野�/span>

使用采样器甚至能对难以触及的地方以及相对粗糙的表面进行可靠测量。采样器（来自经过认证的供应商）不会造成交叉污染、�/span>

分析仪能在数秒内完成对采样器的检测，这使测试工作流程可控�?nbsp;在一分钟以内。采样器可放在采样器支架中运输、重新测量和进一步分析、�/span>

具有多种采样器选择，包括用于间接检测的粘取采样器（含支架）�?nbsp;用于落尘检测的2英寸晶圆套件、�/span>

这种适应性使其适用于跨多个�?nbsp;业的不同测试场景，能提供可靠测量数据并深入洞察污染水平、�/span>