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纳米超硬膜涂层设备GDM1000
纳米超硬膜涂层设备GDM1000
  • 型号

    纳米超硬膜涂层设备GDM1000
  • 产地

    北京
  • 品牌

    北京泰科诹/span>
  • 产品分类

    半导体行业专用仪?/span>
  • 关注?/p>829

  • 参考报件/p>

产品详情

设备名称:纳米超硬涂层设夆/span>
设备型号:GDM1000
真空腔室尺寸:?000mm×H1200mm
真空系统:国 / 进口分子 + 罗茨 + 机械泵高真空系统
极限真空:优 8.0×10-5Pa
抽速:从大气到 5.0×10-3Pa 25min 升压率关 12 小时后真空度 10Pa
工件架尺寸:8 12 工位? 轴联动工件架二套;配专用工件?/span>
工件烘烤温度:室温~ 500℃,可调可控(PID 控温(/span>
配置:新型弧 6-12 只可选、离子源、偏厊/span>
系统:全自动控制系统,个性化 Tech-Coating 控制菜单,安全保护系绞/span>
占地面积:L4000mm×W3000mm

功能.jpg


该设备可制备TiN\CrN\AlCrN\ZrN\TiC\TiCN\TiAlN\TiAlCN\DLC膜等,非常适合生产企业大批量在刀具(钻头、铣刀、拉刀、丝锥、滚齿刀、车刀、刀粒等)、高精工模具(冲压模具、剪切模具、成型模具、注塑模具等)及其他关键部件上镀制单?多层硬质涂层、耐腐蚀涂层等功能薄膜、/span>


产品特点.jpg


设备采用全自动的控制方式,先进的工艺流程控制模式,性能稳定可靠,操作简单方便。并集成先进的新型弧源镀膜技术和离子辅助前处理镀膜技术,可镀高质量、成膜致密、结合力好、硬度高的硬质涂层,大幅度提高工具及刀具使用寿命。该设备集成国际**技术,性能国内**、/span>


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