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沈阳中科汉达科技有限公司
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产品分类
管式炈/a>
粉体焙烧炈/a>
水平式长晶炉
氧化铝粉
氮化铝粉
辊道炈/a>
产品简今/div>
HVPE生长系统是自主研发的一台功能强大,耐用,可靠的气相外延生长系统,适用于大尺寸、高质量商业化GaN的同?异质外延生产。内置新研发的控制系统和多温区加热系统,支持配方功能,方便工艺参数调用及储存,设备结构简单,操作方便,实用性强,能够满足大规模体块GaN的商业化生产需求、/p>
技术参?/span> |
|
生长工艺 |
HVPE泔span style="box-sizing: border-box; font-weight: bolder;"> |
产品类型 |
非标定制 |
加热方式 |
电阻式加?感应式加?/p> |
**温度 |
1100ℂ/p> |
恒温区尺寷/p> |
100mm |
控制方式 |
PLC集成控制 |
系统真空检漏漏玆/p> |
?.0×10-7 Pa.l/S |
冷却方式 |
循环水路系统 |
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沈阳中科汉达科技有限公司官方展台田a href="//www.znpla.com/hd-tech/">中国粉体罐/a>设计制作,工商信息已核实、br /> 公司地址:辽宁省沈阳市浑南区沈阳航空产业园A3-2
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