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沈阳中科汉达科技有限公司
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产品分类
管式炈/a>
粉体焙烧炈/a>
水平式长晶炉
氧化铝粉
氮化铝粉
辊道炈/a>
产品简今/div>
感应式PVT AlN生长设备是自主研发的感应式加热炉,具有高稳定性、高真空度和精确控制系统的AlN晶体生长系统,适用于商业化批量生长大尺寸AlN晶体,可实现AlN晶体的同质和异质外延生长、/p>
技术参?/span> |
|
生长工艺 |
PVT |
产品类型 |
非标定制 |
加热方式 |
感应加热(中频感应加热) |
**温度 |
2400ℂ/p> |
系统停泵关机12小时后真空度 |
?Pa |
控制方式 |
PLC集成控制 |
系统极限真空?/p> |
?×10-5 Pa (经烘烤除气后) |
系统真空检漏漏玆/p> |
?.0×10-7 Pa.l/S |
冷却方式 |
循环水路系统 |
控压范围 |
20-80kpa |
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沈阳中科汉达科技有限公司官方展台田a href="//www.znpla.com/hd-tech/">中国粉体罐/a>设计制作,工商信息已核实、br /> 公司地址:辽宁省沈阳市浑南区沈阳航空产业园A3-2
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