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沈阳中科汉达科技有限公司
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产品分类
管式炈/a>
粉体焙烧炈/a>
水平式长晶炉
其他
氧化铝粉
氮化铝粉
产品简今/div>
技术参?/span> |
|
生长工艺 |
PVT |
生长尺寸 |
6-8英寸 |
产品类型 |
非标定制 |
加热方式 |
感应加热(中频感应加热) |
**温度 |
2400ℂ/p> |
控制方式 |
PLC集成控制 |
系统极限真空?/p> |
?.5×10-5 Pa (经烘烤除气后) |
系统真空检漏漏玆/p> |
?.0×10-7 Pa.l/S |
冷却方式 |
循环水路系统 |
系统停泵关机12小时后真空度 |
?Pa |
双层立式石英管水冷结构提供稳定的长晶环境,利于生长高品质晶体,上下温度实时精确监控便于工艺调试,采用上下双测温精确监控提供更优的工艺调整,碳化硅感应式长晶炉适用于生长高纯度碳化硅单晶、高纯度碳化硅原料合成等
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