产品性能:

耐高�?/p>

耐高厊�/p>

耐磨

使用寿命髗�/p>

耐腐蚀�?/p>

纯净度高

材料及特�?/h3>

�?nbsp;基材：等静压石墨（厚�?gt;0.5 mm（�/p>

�?nbsp;涂层：涂层：β-SiC（厚�?lt;300 μm（�/p>

应用场景

晶圆制速�/span>

� 外延

� 扩散

实现技�?/h3>

� 精密加工（石墨）

� 低压化学气相沉积

性能要求

� 致密度高	� 结合力强	� 高纯�?/p>
� 高导�?/p>	� 耐腐蚀	� 抗开裁�/p>

应用领域

� LED光电

� 集成电路

� 第三代半导体