德智新材产品涵盖碳基、陶瓷及其高端材料，应用于半导体芯片制造各个环节，如单晶生长、外延、刻蚀、扩散、CVD、PVD等。产品性能媲美海外SiC耗材先进友商，助力高端制造国产化、�/p>

应用场景

晶圆制速�/span>

� 外延

� 扩散

� 刻蚀

实现技�?/h3>

� 精密加工（石墨）	� 低压化学气相沉积 （LPCVD（�/p>
� 精密加工（�?SiC（�/p>

性能要求

� 致密度高	� 电阻率可�?/p>	� 高纯�?/p>
� 高导�?/p>	� 耐腐蚀

应用领域

� LED光电

� 集成电路

� 第三代半导体