材料及特�?/h3>

�?nbsp;基材：等静压石墨（厚�?gt;0.5 mm（�/p>

�?nbsp;涂层：TaC（厚�?lt;300 μm（�/p>

应用场景

晶圆制速�/span>

� 单晶生长

� 外延

实现技�?/h3>

� 精密加工（石墨）

� 低压化学气相沉积（LPCVD（�/p>