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1)真空腔 2)抽气系?nbsp; a) OSAKA FR060D b) BROOKS CTI OB400 & 9600 compressor/Leybold DIP8000 c) Flapper Valve d) Inficon vacuum gauge | 3)电子枪 JEOL BS-60050EBS 4)高精度镀膜基板温度控制双加热系统,**温度:350ℂ/span> 5)高精度控制工件高速旋?/span> 6?片石英芯片晶体膜厚控制仪 7)镀膜基板自动翻面功?nbsp; 8)同点实时监控光学膜厚仪 |
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