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型号:IBSV-1030 特点9/span> a)基板垂直放置,水平监控; b)转靶左右可调,保证靶面中心和离子?*距离:/span> c)基板?2吋? ; d)靶材:两靶或三靶可更换; e)多光路监控、/span> f)工件夹具?2吊/span> |

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