参考价栻/p>面议
型号
YHJ2M77120 高精度立式双面磨庉/span>品牌
宇环数控产地
湖南样本
暂无粉碎程度9/p>其他
单位能耗:
-产量9/p>-
装机功率(kw):
-成品细度9/p>-
入料粒度(mm):
-工作原理9/p>其他
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设备亮点
1、本下盘轴向采用静压转台轴承结构,具有高精度、高刚性特点,对于大压力加载磨削加工,具有良好的精度保持性、/p>
2、下盘内外齿圈采用伺服电机独立驱动,工艺调节范围广,可根据不同材质产品灵活调整工艺参数、/p>
3、上盘采用浮动油缸机构调节平衡,四组浮动油缸对称均匀布置,在保持加工精度的前提上提升加工效率、/p>
4、上、下盘均有独立冷却水道冷却磨削盘,在上、下盘配置多点温度传感器(带无线传?,通过温度实时监测,控制调节制冷量,保证磨削盘温度均匀且恒定、/p>
5、配置在线检测系?选配),实现同时加工及检测,加工合格率高、/p>
技术参?/span>
项目 | 参数 |
单个晶圆衬底厚薄差TTV(μm(/p> | ?.5 |
晶圆衬底与衬底之间厚薄差(μm(/p> | ? |
晶圆衬底*小厚度(μm(/p> | 350 |
晶圆衬底平面度(μm(/p> | ?.5 |
晶圆衬底化学抛光后粗糙度(纳米(/p> | ≤Ra8 |
上下盘平面度(mm(/p> | ?.005 |
上盘**加载压力(t(/p> | 1.5 |
上盘**行程(mm(/p> | 350 |
上抛光盘尺寸(mm(/p> | Φ1120*Φ385*50 |
下盘跳动(mm(/p> | ?.01 |
下抛光盘尺寸(mm(/p> | Φ1120*Φ385*50 |
外齿圈抬升高度(mm(/p> | 24~28 |
项目 | 参数 |
下盘?*?*承载(t) | 7 |
上盘转速(RPM(/p> | 5~60 |
下盘转速(RPM(/p> | 5~60 |
上盘电机功率(KW(/p> | 18.5 |
下盘电机功率(KW(/p> | 18.5 |
太阳轮转速(RPM(/p> | 5~100 |
太阳轮电机功率(KW(/p> | 4.4 |
外齿圈转速(RPM(/p> | 1~10 |
外齿圈电机功率(KW(/p> | 4.4 |
游星轮数量(个) | 5 |
晶圆加工规格(英寸) | ?”(打样用)6”(常用(/p> |
设备重量(t(/p> | 9 |
暂无数据