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参考价栻/p>面议

型号

SPP800S

品牌

产地

日本

样本

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一桥半导体科技（苏州）有限公司

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    SPP800S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏，使用操作方便、/span>


    产品特点

    SPP800S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏，使用操作方便、/p>



    性能参数

    项目 参数

    加工材料

    硅晶片、电子部品、脆性材斘/p>

    适用晶圆尺寸

    		 3 - 8 英寸

    设备尺寸

    1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H)

    厂务条件

    		 10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz

    压缩空气压力

    ?.0 Kg/cm?
    去离子水压力 1.0-1.5Kg/cm?
    去离子水流量 5 ?分钟
    排气野/td> 3m?/分钟
    冷却水（真空泵用（/td> 压力?.0Kg/cm?
    流量 大于3 ?分钟
    冷却水（抛光定盘冷却系统用） 2.0Kg/cm?
    流量 大于3 ?分钟



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    性价毓/p>

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