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简单介绍:
旋转粉末磁控溅射镀膜仪主要用于粉体材料、颗粒材料的包覆制备,用于改善粉体或颗粒的表面性能、分散性能、稳定性能,赋予其导电性、耐腐蚀性等新功能、/p>
详情介绍9/p>
该设备主要用于粉体材料、颗粒材料的包覆制备,用于改善粉体或颗粒的表面性能、分散性能、稳定性能,赋予其导电性、耐腐蚀性等新功能、/p>
粉体包覆磁控镀膜仪是通过粉体在溅射腔室内的旋转,以达到粉体表面均勺包覆的效果、/p>
腔室可旋转、倾斜,能快速出料。粉体包覆是指将一种或多种粉体颗粒投入到包覆设备中,通过物理或化学方法形成一层覆盖在颗粒表面的物质。粉体包覆的目的可以是改变颗粒表靡/p>
的性质、增加颗粒的稳定性、控制颗粒的释放速率等、/p>
产品名称 |
多功能粉体包覆机 |
|
产品型号 |
CY-MSH150-I-RF-Q |
|
控制系统 |
显示模式 |
7英寸触控屎/span> |
磁控溅射 |
靶材尺寸 |
2英寸 |
靶枪类型 |
标准磁场 |
|
适合靶材 |
非磁性金属靶杏/span> |
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溅射类型 |
直流溅射 |
|
溅射真空 |
0.5Pa |
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溅射速率 |
以铜为例9/span>7nm/min |
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膜层厚度 |
?/span>1微米 |
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膜均匀?/span> |
±3% |
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样品粒度 |
zui佳尺寸范围: |
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样品总量 |
?/span>500g |
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烘烤系统 |
烘烤温度 |
?/span>500℃任意可设置 |
升温速率 |
?/span>50ℂ/span>/S任意可设?/span> |
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控温精度 |
±1ℂ/span> |
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控温模式 |
可编程,程序控温 |
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旋转升降 |
旋转速度 |
0-100RPM任意可设?/span> |
升降角度 |
0-60°任意可设?/span> |
|
等离子体 |
射频功率 |
150W(另有9/span>300W,500W,600W,1000W,1500W多种规格可选购(/span> |
功能效用 |
粉体包覆前,可先对粉体进行表面刻蚀,改性,增强包覆层附着力、/span> |
|
供气系统 |
气体种类 |
可通:氩气、氮气、氧气等多种气体 |
气体控制 |
采用质量流量控制器对气体进行流量控制、气体计量、/span> |
|
真空系统 |
前级泴/span> |
通常为双极旋片泵,客户可根据需要选购其它类型前级泵、/span> |
分子泴/span> |
通常为国产分子泵,客户可根据需要选购其它类型分子泵、/span> |
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真空讠/span> |
复合真空计,量程为:10-5Pa}/span>105Pa |
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水冷机组 |
zui大流野/span>10L-16L,zui大扬稊/span>10-25M |
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供电电源 |
AC220V/50Hz |
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设备尺寸 |
1800*620*1050 |
|
包装尺寸 |
1900*720*1150 |
|
包装重量 |
200kg |
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随机配件 |
1、说明书1?/span> |
|
2、随机配仵/span>1奖/span> |
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3、配件清協/span>1仼/span> |
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暂无数据
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