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优势
◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产
◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力
◆使用Sic桨使加载区稳宙/span>
◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使?/span>
硬件规格
◆恒温区长度:2800mm
◆温区数野6个温匹/span>
?*温度:1050ℂ/span>
◆温度均匀?800℃~1050℃?.5ℂ/span>
◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨
◆桨?*承重野100kg
◆工艺腔和舟的材?石英?amp;碳化硅舟扗/span>
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