非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
800 ℂ/span>额定温度9/p>-
看了LP-CVD多晶 掺杂多晶炉的用户又看亅/p>
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优势
◆快速的工艺认证,可以极高的提升生产
◆专业的高效电池制速/span>
◆良好的膜厚均匀性,较长的恒温区
◆更大的正常运行时间和更低的成本,良好的服务和支持确保了长期**的生产能劚/span>
◆Ivoc:>740mV(钝化?
主要特点
◆产胼2200~2880pcs/箠/span>
◆管?5?6箠/span>
◆硅片尺寷182-230mm硅片
◆压力控刵APC控制
◆系统控刵PLC和PC控制基础
◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II筈/span>
◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇/span>
◆运行时间:97%
硬件规格
?*温度:800ℂ/span>
◆温度均匀?500℃~700℃?.5ℂ/span>
◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨
工艺规范
◆膜厙1000A~3000A
◆厚度均匀?<5%(片内/片间/批间均匀?
◆未掺杂多晶?硅烷)
◆N型掺杂多晶硅PH3
◆P型掺杂多晶硅B2H6
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