温控精度９/p>-
最高温度：
-额定温度９/p>-
非金属电热元件：
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烧结气氛９/p>其他
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硬件规格
◆恒温区长度:2800mm
◆温区数野6个温匹/span>
?*温度:1050ℂ/span>
◆温度均匀?800℃~1050℃?.5ℂ/span>
◆晶圆装载法:软着际/span>
◆桨?*承重野70kg
◆工艺腔和舟的材?石英箠/span>
主要特点
◆产胼1400~1680pcs/箠/span>
◆管?6箠/span>
◆压力控刵APC控制方式
◆系统控刵PLC和PC工控朹/span>
◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II筈/span>
◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇/span>
工艺规范
◆方阻倻50~350Ω/cmsg
◆极限真穹?0mbar
◆方阻均匀?<5%(片内/片间/批间)
优势
◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产
◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力
◆方形插片软着陆工艺，均匀性好，技术方案成熟稳宙/span>
◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务,确保设备长期稳定使用
硬件规格
◆恒温区长度:2800mm
◆温区数野6个温匹/span>
?*温度:1050ℂ/span>
◆温度均匀?800℃~1050℃?.5ℂ/span>
◆晶圆装载法:软着际/span>
◆桨?*承重野70kg
◆工艺腔和舟的材?石英箠/span>
主要特点
◆产胼1400~1680pcs/箠/span>
◆管?6箠/span>
◆压力控刵APC控制方式
◆系统控刵PLC和PC工控朹/span>
◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II筈/span>
◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇/span>
工艺规范
◆方阻倻50~350Ω/cmsg
◆极限真穹?0mbar
◆方阻均匀?<5%(片内/片间/批间)
优势
◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产
◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力
◆方形插片软着陆工艺，均匀性好，技术方案成熟稳宙/span>
◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务,确保设备长期稳定使用
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