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| 指标 | 规格 |
|---|---|
| 尺寸 | 3''-6“/td> |
| 粗糙度（Ra（/td> | ?nm |
| 总厚度偏?TTV) | ?μm |
| 平整?/td> | ?μm |
| 外观 | 气泡、杂质、凹坑等<1um |
| 平面?Flatness) | ?0 N |
| 光洁?Surface Quality) | 10-5 |
暂无数据
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