参考价栻/p>面议
型号
DSE品牌
微芸半导佒/span>产地
安徽样本
暂无半导体行业专用仪?/p>
DSE
国产半导体行业专用仪?/p>
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微芸深硅等离子体刻蚀?DSE)是一款针对先进特色工艺节点应用的大规模量产型设备,其**性能亦可在各大高校及科研机构展示其科研属性、br type="_moz"/>
设备8英寸向下兼容,适用于Bosch刻蚀工艺类需求。针对Bosch工艺的特点优化了刻蚀设备控制系统,采用快速响应硬件及软件配置,结合中?边缘双路进气设计,具有较大的工艺窗口、高深宽比、高选择比以及良好的侧壁形貌和垂直度控制、br type="_moz"/>
专业机械设计与优化的操作软件使该设备操作简便、安全,且设备运行稳定,重复性和均匀性佳。该系统可以根据客户要求灵活选择气体、射频、ESC等各种配置,满足个性化生产与研究需求、/p>
主要应用
适用领域:集成电路、先进封装、功率半导体、图像传感器、微机电系统、/span>
适用工艺?.5D&3D TSV刻蚀、深槽隔?电容刻蚀等、/span>
产品特点
Bosch工艺定制设备,同时兼容ICP Non-Bosch工艺;
优化的气体分配和ESC控温系统,均匀性好;
快速响应软硬件系统,刻蚀速率高,Scallop導
Bias电源可选择双频切换,工艺窗口大,深宽比高、选择比高,侧壁形貌良好、/span>
暂无数据
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