参考价栻/p>面议
型号
ALE品牌
微芸半导佒/span>产地
安徽样本
暂无半导体行业专用仪?/p>
ALE
国产半导体行业专用仪?/p>
看了ALE原子层离子刻蚀系统的用户又看了
留言询价
咨询ALE原子层离子刻蚀系统
使用微信扫码拨号
原子层刻蚀(ALE)是一种基于自限性反应的、以几个原子层为单位逐步去除材料的高精度加工技术,具有刻蚀损伤低、均匀性高和刻蚀界面平整等优势、/p>
原子层刻蚀(ALE) 是利用卤化物前体对刻蚀材料先进行修饰改性,再通过离子轰击去除改性层,整个刻蚀过程不影响未改性区域,可以实现极低的刻蚀速率,实现高精度的刻蚀工艺、/p>
微芸科技生产的原子层刻蚀系统是一款针对GaN器件应用的大规模量产型设备,?*性能亦可在各大高校及科研机构展示其科研属性、/p>
主要应用
适用领域:功率器?如GaN HEMT)、光电器?如Micro LED)、MEMS器件/p>
产品特点
集成化设计和供应链成熟协调,系统运行稳定,成熟度髗
将刻蚀过程控制在原子层(?.7nm)的级别,提供****的刻蚀精度和深度控制能劚
通过使用自限制化学反应,每个刻蚀周期仅去除几层原子,避免过刻蚀,确保了刻蚀的均匀性和可重复?
对底层和相邻材料的损伤较小,有利于保持器件性能和提高良玆
可实现大面积晶圆上的刻蚀深度一致性,典型均匀度可达到±2%以内、/p>
暂无数据
ALE原子层离子刻蚀系统的工作原理介绍?
ALE原子层离子刻蚀系统的使用方法?
ALE原子层离子刻蚀系统多少钱一台?
ALE原子层离子刻蚀系统的说明书有吗>/li>
ALE原子层离子刻蚀系统的报价含票含运费吗?
ALE原子层离子刻蚀系统有现货吗>/li>
凤凰城有办事机构吗?
凤凰城销售电话是多少>/li>
手机版:

