半导体行业专用仪?/p>
A1000PC
国产半导体行业专用仪?/p>
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| 尺寸 | ?220 ?300 ?800mm(亦可定制? | 沉积薄膜 | Al2O₃,SiO₂,TiO₁/td> | 等离子体 | ICP |
| 前驱体源 | 4液 2气体 | 基板 | 平面或三绳/td> | 装载野/td> | Φ335mm*40pcs |
| 工艺温度 | <130ℂ/td> | 薄膜均匀?/td> | Al2O?SiO <±2%, TiO?lt;±3% | 装载方式 | 半自?/td> |
特点及优劾/span>
产品特点
在塑料基板上优异的薄膜保形性和附着?/span>
经工业化检验认证的ALD系统设计
正常运行时间和产胼/span>
可兼容基板自动化装载
适用于工?.0的先进控制系绞/p>
真正的批量式低温氧化硅沉积工艹/p>
良好的批量式二氧化钛均匀?/p>
可对塑料镜头进行等离子前处理
高装载量的批量式原子层沉积系绞/p>
业内常用的量产式设备
已验证的高重复可靠?/p>
A1000PC是面向于工业化大规模生产的原子层沉积系统,低温镀膜设计可以在各种3维基板上沉积高质量光学薄膜、/p>
在塑料基板上优异的薄膜保形性和附着?/p>
经国际认证机构认可的ALD系统设计
正常运行时间和产胼/p>
可兼容基板自动化装载
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