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新创纳电孏/span>产地
浙江样本
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ppb
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浙江新创纳自主开发出应用?寸和12寸硅晶圆使用的精抛液。产品采用超高纯硅溶胶为原料,金属离子达到ppb级,满足晶圆加工对表面和残留颗粒的要求,已在客户端验证通过且批量供应、/p>
性能指标
精抛液SJ-216(8?
抛光清洗后硅片表面金属残留均小于5E8atoms/cm2
表面质量:Ra<0.2nm 颗粒<4?0.1um)
稀释比:1:20
? Nas1000ppb, Mg50pb, Als50ppb, Ks100ppb, Cas100ppb, Mns50ppb, Ti50pb, Fes50pb, Cr50pb, Ns10ppb, Cus10ppb, Zn550ppb, Ag50ppb, Pbs50ppb
精抛液SJ-221(12?
抛光清洗后硅片表面金属残留均小于2E8atoms/cm2表面质量:Ra<0.2nm 颗粒平均5?26nm)
稀释比:1:20
? Nas1000ppb, Mg50pb, Als50ppb, Ks100ppb, Cas100ppb, Mns50ppb, Ti50ppb, Fe50pb, Cr50pb, Ns10ppb, Cu510ppb, Zn550ppb, Ag50ppb, Pbs50ppb
暂无数据
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