特征概览:

• 用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统，检测范围：0-100�?-200�?-300amu
• 允许7�?4小时连续监控，提高产品良率及产能，降低生产成�?/li>
• 紧凑型设计可安装于每个高压强真空系统
• HexBlock^TM取样系统使系统性能**匕�/li>
• 内置压力传感器（CDG），用于工艺压强监测和提供联锁保抣�/li>
• 备用可选的标准气体，用于调谐和校正
• 封闭式离子源可阻挡腐蚀性气体和反应性气体，并可检测ppm量级的污染物
• 重量轻，易搬迏�/li>

应用９�/p>

• 高压强真空系统（< 2个大气压）检漏，气体纯度，污染检测，工艺制程监控及刻蚀终点探测 （Endpoint），涉及领域：材料，传统高压强真空系统，半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀系统