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CDG100D

INFICON SKYCDG100D真空计是高精度总压强测量和控制�?*选择. 为达到优异的半导体和等离孏�/p>

过程要求的性能� �CDG100D真空计的温度控制�?00��C. 全量程范围从100 毫乇 � 1000 乇， 配有�?/p>

部常用的法兰型式� fieldbus 接口� 和提供线性的 0 � 10 伏与气体类型无关的压强讯�? INFICON 电容

真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好� 从大气压恢复快， 预热旵�/p>

间短和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量� 成本效益好的压强传感器， 用于半导体， 等离子和各项

要求高的真空应用�?

优点

� � CoO (拥有成本)� 50% 快速预热， 能效高， 功耗低

� 易整合于系统中， 宽量程范围， 法兰和接口， 标准型号带有两个设点

� 简易的一键操作或遥控讯号调零指令� 零点偏离可调

� 诊断端口用于快速检修和维护

� 两年保用期， 采用先进的加热概念和传感器保护， 真空计使用寿命长

� 由于**的讯号稳定性和可重复性， 即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用＋�/p>

无需重新校准

� 承诺和标凅� CE� EN� UL� SEMI� RoHS

用逓�/p>

� 刻蚀� PVD� CVD和其它半导体生产过程

� 化学和腐蚀性高温过稊�/p>

� 需要真空计保护的常用薄膜和真空过程