高压强热电离皮拉尼真空计

INFICON 公司生产的HPG 400 型高压强热电离皮拉尼真空讠�/p>

将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济

的规管中，测量压强从 2��10-6 �?000 毫巴(1.5��10-6 臲�/p>

750 �?。HPG 400 提供高度的重复性和再现性压强测量，

用于精确的溅射过程的压强控制、�/p>

用户优越�?/p>

HPG 400 节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与

设置的复杂�?/p>

高压强热电离真空计从 1��10-5 �? 毫巴为要求高的过稊�/p>

控制提供精确、可靠的压强测量

用户可选的热电离发射在 5��10-2 �? 毫巴之间起始工作

皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧�?/p>

高真空皮拉尼自动调整，减少操作人员的干预

备有可选的图形显示器和现场总线接口

典型应用

半导体制造中溅射工艺应用，电子学的媒体工丙�/p>

工业镀膛�/p>

在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制