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SionTM射频放弧探测?/div>
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美国
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产品简今/div>
特征概览:

  • 非接触式超小设计，监测高功率射频电源的电流及电压传输
  • 方便替换传统的光谱仪，准确探测刻蚀工艺的终炸/li>
  • 监测腔体是否刻蚀干净及过度刻蚀，缩短刻蚀时间和降低气体成本，提高生产机台使用玆/li>
  • 高速采样频率，可达2万赫典/li>

应用９/p>

  • 用于半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀腔体工艺等离子体放弧探测及刻蚀终点探测（Endpoint）、/li>
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英福康（广州）真空仪器有限公号/a>官方展台田a href="//www.znpla.com/">中国粉体罐/a>设计制作，工商信息已核实、br /> 公司地址：广州市天河区林和中?88号附楼四楼（仅限办公（br /> https://inficon.cnpowder.com.cn/