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产品详情
全自动晶圆倒角机MET-5800
产品简今/div>
产品规格
项目 |
参数 |
晶圆尺寸 |
12英寸（Notch（/p> |
晶圆厚度 |
250um-1000um |
工位 |
双工佌/p> |
晶圆参考面形状 |
R形、双R形、T型、台阶状筈/p> |
设备尺寸和重野/p> |
L3300×W2200×H2200mm?000kg |
磨削X/Y/Z轴精?/p> |
X.Y.Z轴精度：±1um |
陶瓷吸盘平面精度：?um |
|
吸盘轴径向精度：±1um |
|
砂轮轴径向精度：±1um |
|
砂轮外径沟部 |
φ200mm |
砂轮外径 |
φ202mm |
砂轮安装内径 |
φ30mm |
砂轮厚度 |
20mm |
砂轮转逞/p> |
4000r/min?000r/min（根据客户要求选择（/p> |
Notch砂轮转逞/p> |
50000-160000r/min |
校正机构 |
|
测量方式 |
非接触式或机械测厚（根据客户要求选择（/p> |
分辨玆/p> |
1μm |
对中精度 |
20μm |
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