产品简今/div>
晶圆尺寸:6/8英寸
Nafer size: 6/8 inches ウェハーサイス６インチ～８イン?/p>
温度范围:温度200-800℃，温度均匀性?ℂ/p>
Temperature 200-800 °? temperature uniformity±3 °Ｂ/p>
温度範囲：温?00-８００°Ｃ、許容温度範囲?ℂ/p>
压力:**20000N，力均匀性＜±1%
Pressure Maximum 20,000 N,Force Uniformity<±1%
圧力?*?000Ｎ、力の均等性＜±1%
真空??0Pa
Vacuum pressure:?0Pa 真空??0Pa
压头:柔性压?硬性压夳/p>
Indenter: Flexible indenter/rigid indenter
圧子：軟性圧?硬性圧孏/p>
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