www.188betkr.com 讯日前，广东省2025年度省重点领域研发计划项目立项名单正式公布，其中 广东国研新材料有限公司承担（简称：国研新材）的“12英寸先进制程用高均匀性氮化铝陶瓷加热盘研制与应用”项目获得立项，获1000万元省级财政资金支持。
在半导体制造核心零部件领域，国研新材的氮化铝陶瓷加热盘项目实现重大技术突破。该项目针对大尺寸晶圆先进制程需求，研发高均匀性、高稳定性加热盘产品，其核心材料氮化铝具有优异的导热性与等离子体抗性，热膨胀系数与硅片高度匹配，可满足7nm-14nm先进制程对温度控制的严苛要求。
在半导体制造中，需要对晶圆进行各种工艺处理，例如薄膜沉积、刻蚀等。在这些环节中，需要将晶圆加热到一定温度，并且对温度有着严格的要求，因为温度的均匀性对产品良率有着非常重要的影响，加热部件必不可少。除了确保晶圆温度的稳定性和均匀性，加热器还要面临可怕的真空、等离子体及化学气体共存的工作环境，于是，陶瓷加热器成为了必选项。
陶瓷加热器的陶瓷基体的材质可使用氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氧化铝(Al2O3)等陶瓷，其中，氮化铝陶瓷是陶瓷加热器的最优选择。氮化铝不仅具有高导热性，能够在短时间内实现快速升温和降温，还具有良好的电绝缘性和机械强度，确保了加热器的稳定性和可靠性。此外，氮化铝的热膨胀系数与硅相近，这有助于减少热应力对晶圆的影响，提高工艺良率。
当前，我国大尺寸半导体生产线正加速扩张，而高端陶瓷加热盘长期依赖进口。国研新材的研发成果实现了该类产品的国产化替代，其模块化设计与主流炉管设备兼容，可适配PVD、CVD等多道工艺，使用寿命超20000次循环，将有效降低国内半导体企业的设备采购与运维成本，为我国芯片制造产业链自主可控提供重要保障。
国研新材成立于2007年，是国内主要生产金属陶瓷发热体(MCH)研发、生产、销售的高新科技企业。所生产的产品广泛应用于智能马桶、即热式饮水机、暖风器、美发器等领域，同时，该公司正加紧研发可用于智能汽车、新能源汽车的发热体产品。
来源：河源晚报、河源市高新技术企业协会
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