OLS50003D测量激光显微镜可以精确地测量亚微米级的表面形状和粗糙度。图像采集速度比我们之前的型号OLS4100快四倍，大大提高了效率、/span>
1. 捕捉任意表面形状 |
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2.快速获得可靠数据、/span> |
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3. 操作简单–/p> 只需放置栶/p> 品并按一下按钮即可、/span> |
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4.测量具有挑战性的样品 |
优异的平面分辨率
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像、/span>405nm紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕
捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷、/span>
专用LEXT物镜
我们的专?/span>LEXT物镜系列近期新增了提升测量性能的长工作跜/span>离物镜和普通工作距离的10倍物镜。所有专?/span>LEXT物镜的测野/span>性能均可获得保证、/span>
4K扫描技术–/span>检测陡峭斜面和近纳米级台阶的形貋/span>
4K扫描技术可?/span>X轴方向扫揎/span>4096像素，是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了两倍、/span>OLS5000显微镜无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶、/span>
可准确测量高辽/span>87.5的大角度斜面、/span>
快速、精确的测量—–/span>PEAK算法
OLS50003D测量激光显微镜采用了用亍/span>3D数据构建皃/span>PEAK算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据，并可缩短数据采集时间、/span>
VLSI标准样品/ 80nm台阶(MPLFLN10XLEXT)
简单分枏/span>
简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度和体积。自动检测测量结果变动的原因（如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值）让测量结果保持稳定，不受操作员技能水平的影响、/span>
扩展架—可检?*210毫米高度的样?/span>
载物台上可放?*高度210毫米的样品。重复性和准确性等测量性能均确保与标准机台相同、/span>
