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产品详情
奥林巴斯工业激光共焦显微镜
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简今/div>

作为*早将激光共焦显微镜应用于工业领域的开拓者和实践者,OLYMPUS在工业的激光共焦应用领域积累了独到的技术,并推出了**的产品OLS4000 、/p>

一、主机性能

* 激光自动聚焦,对焦快速而精确;
*自动六孔物镜换镜转盘,可配套多种物镜:/div>
*标准配套100x100 mm 超声波电动载物台,可实现*?00幅图像自动拼图;
*标准配套 5?0?0?0?00物镜,其?0?0?00物镜均为405nm专用复消色差物镜:/span>
*水平方向分辨率可辽span>0.12m,Z轴方向分辨率辽span>0.01m:/span>
*激光可以实现激光共焦、激光共焦微分干涉等观察方式:/div>
*激光光源为 405nm半导体激光器,安全等级CLASS2:/span>
*普通光源为 3W 高亮LED光源:/div>
*激光图像感应装置为 Photo multiplier(光电倍增管):/span>
*微镜调焦采用物镜升降的方式,而非常见的载物台升降调焦的方式,可以**程度保证镜体的稳定性;
*主机具有自动防震功能,不需搭配防震台使用;
*“一键”拍摄功能,只一个按键即可自动拍摄照片;
*丰富多彩皃span>2D/3D图像显示方式?D图像通过鼠标操控可自由旋转和放大:/span>
*自动报告生成功能:/div>
*数字图像处理,可以实现边缘增强、对比增强、滤波、剖面校正、快速傅立叶变换等功能;
*可以实现对倾斜的样品校正水平;
*自带操作软件可以实现中、英、日、德、韩五种语言选择*具备丰富的测量功能:可以实现长度、高度、面积、体积、粗糙度、膜厚、颗粒等多种测量:/p>

二、主要功胼/p>

1、微观二维形态图?2-D Morphologic)获取
?05nm短波长半导体激光为光源,通过显微镜内高精度扫描装置对样品表面的二维扫描,获得水平分辨率高?.12m的表面显微图像,同时通过CCD采集彩色图像信息,合成高分辨率真彩色形态(Morphologic)图像。目前,OLYMPUS采用**开发的MEMS(微机电)工艺制造的扫描系统,不仅寿命很长,而且精度更加可靠、/div>
2?/span>微观三维形态图像(3-D Morphologic)获叕/div>
通过显微镜高精度步进马达驱动?.8nm光栅控制的聚焦装置,运用共聚焦技术(Confocal),逐层获取样品各个二维图像和焦面的纵向空间坐标。经计算机处理,将各个焦平面的显微图像叠加,获得样品表面的三维真实形态(近似SEM扫描电镜的Morphologic图像)、/div>
3、微观三维轮廓与地形图像?-D Profile?-D Topography)获叕/div>
将扫描获得的样品表面各个点的三维空间坐标经计算机处理后,可获得垂直分辨率0.01m的三维轮廓图像(近似三维表面形貌仪的图像)和三维地形图像(近似AFM 原子力显微镜的图像)、/div>
4、多种测量功胼span> 可以测量亙/span>微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度、透明膜厚,几何参数等测量数据。可作为高精度测量设备,符合国际计量追溯体系(ISO)。附加金相插件,可做金相分析、/p>

5?/span>OLS4000具备常规显微镜的功能,多种观察方法:BF,DIC。可升级到原子力显微镜(AFM)、/div>

三、应用领埞/strong>

1、材料科?/div>
新材料研发,缺陷分析,失效分析,传统金相分析。在材料行业中,定位?*端的金相显微镜,具有分辨率高、制样要求、同时可以做3D分析等优势,同时由于可以增加热台和金相分析软件,基本可以涵盖高端金相的应用要求、/div>
2、摩擦学、腐蚀等表面工稊/div>
磨痕的体积测量,粗糙度测量,表面形貌,腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌、/div>
3、MEMS
微米和亚微米级部件的尺寸测量(深度测?适合范围?.05m?mm,线宽测?适合范围1m-1.5mm),

各种工艺(显影、刻蚀、金属化、CVD、PVD、CMP等)后表面形貌观察,缺陷分析,透光膜厚测量?适合范围1.0mm-1.0m)、/div>

4?/span>半导?LCD
各种工艺(显影、刻蚀、金属化、CVD、PVD、CMP等)后表面形貌观察,缺陷分析非接触型的线宽,台阶深度等测量,及GOLD BUMP的高度与表面粗糙度、/div>
5、精密机械部件,电子器件
微米和亚微米级部件的尺寸测量,各种表面处理、焊接工艺后的表面形貌观察,缺陷分析,颗粒分析、/div>
6、高精密PCB制速/div>
1) 激光钻孔后的孔径测?亚微米到微米),底部粗糙度,形貌观察、/p>

2) 铜线高度(2-3m),线?10-20m或更?

3) 基板表面粗糙度,三维形貌、/div>

7、化学薄膜(高分子等)厚度测量、膜表面粗糙度测野/div>
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