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武汉普迪真空科技有限公司
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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
PD-500/600电子束真空蒸镀设备
PD-450/600H热丝化学气相沉积设备
PD-60/80MP微波等离子体化学气相沉积设备
PD-500S/800S高真空蒸发蒸镀设备
ALD-100原子沉积设备
粉体焙烧炈/a>
清洗/消毒设备
管式炈/a>
产品简今/div>
产品摘要
该设备是由滑动开启式真空管式炉,混气系统,真空及压力系统等组成。烧结温度可达到1200°,通过滑动炉体来实现快速升降温,可以通过配置不同的真空系统来达到理想的真空度,同时可以通过多路高精度质量流量计来控制不同的气体、/p>
产品介绍
★炉体结构:日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好,支撑两端安装油压缓冲器炉盖可开启,可以实时观察加热的物斘/p>
★电源:AC220V,50/60HZ 功率:4KW
★炉管:高纯石英管尺寸:φ 40/60/80/100*1200mm
★加热系统:加热区长?40MM 恒温区长?00mm 工作温度?150° **温度1200° 升温速率10°/min
★温控系统:温度控制采用人工智能调节技术具有PID调节,自整定功能30段升降温程序
★混气系统:多路质量流量计数字显示气体流量自动控制。流量规格:0-1SLM 流量精度±1.5$/p>
★真空度:真空度可达?E?1)torr
★可选配件:混气系统中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,氧含量分析仪筈/p>
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