设备特点９�/p>

★进口双导轨前滑动开门节省手套箱空间

★节约实验室场地不占用手套箱以外空间

★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选，完善的逻辑程序互锁保护及异常报�?/p>

★可搭配离子源进行表面清洁和离子辅助蒸镀，也可搭配电阻蒸发源使用

★行星式工件架，公转+自转/穹顶�?自动翻面/平板式工件架可选，转速可谂�/p>

设备参数９�/p>

★腔体尺寸（L×W×Hmm)�?00×500×600mm/600×650×800mm

★真空极限：优于�?E�?5）Pa

抽速保压：�?E�?4）≤30min保压12小时�?pa

★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%（�/p>