液相法衬底产品介绌�/strong>

3C N型SiC具有更高的电子迁移率�?C-SiC�?100 cm2/V∙s�?H-SiC�?00 cm2/V∙s），同时由于3C-SiC具有更小的禁带宽度，可使器件在氧化层制备上具有更小的FN隧穿电流以及可靠性，能大幅度提高器件产品良率、�/span>

主要指标

晶型�?C

尺寸�?0.8±0.38 mm 2英寸�?英寸�?英寸

非标尺寸�?0*10mm,20*20mm,其它按需定制�?nbsp;

厚度�?50±25μm

微管密度：＜0.1 cm-2

电阻率≤0.0006 Ω∙cm