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4英寸低阻高掺p型碳化硅衬底
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4英寸低阻高掺p型碳化硅衬底
187
晶型?H/6H 尺寸?9.5~100 mm
厚度?50±25 μm 微管密度：＜0.1 cm-2
电阻率：0.06~0.11 Ω∙cm
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4英寸低阻高掺p型碳化硅衬底
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