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6英寸低阻高掺p型碳化硅衬底
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6英寸低阻高掺p型碳化硅衬底
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6英寸低阻高掺p型碳化硅衬底
利用液相法生长的P型碳化硅衬底具有低电阻、高掺杂浓度、高品质等优势，能满足n沟道SiC IGBT、GTO等高压双极型器件的制备需汁/p>
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