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4H-6-SiC
面议
4H-6-SiC
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| 参数名称 | P?/span> | R?/span> | D?/span> |
| 晶型 | 4H | ||
| 晶向 | ?lt;11-20>偏转4 º± 0.5º | ||
| 主参考面长度 | 47.5±1.5mm | ||
| 电阻玆/strong> | 0.015~0.025ohm·cm | 0.011~0.028ohm·cm | |
| 直径 | 150 ± 0.25 mm | ||
| 厚度 | 350±25μm(可定制(/span> | ||
| LTV | 2μm | 5 μm | ?0 μm |
| TTV | 3μm | 8 μm | 15 μm |
| Bow | -15 μm - 15 μm | -25 μm - 25 μm | -45μm - 45μm |
| Warp | 20μm | 35μm | 55μm |
| 微管 | 0.2ea/cm2 | 0.5ea/cm2 | 1ea/cm2 |
| TSD | 300ea/cm2 | 500ea/cm2 | 3000ea/cm2 |
| BPD | 800ea/cm2 | 1500ea/cm2 | 5000ea/cm2 |
| TED | 3000ea/cm2 | 6000ea/cm2 | __ |
| 崩边/裂纹/六方空洞 | 旟span style="text-size-adjust: 100%;"> | __ | |
| 多晶面积 | 旟/span> | ?%总面?/span> | |
| 表面粗糙?/strong> | Ra?.2nm(正面) Ra?nm(背面) | ||
| 边缘处理 | 倒角 | ||
| 划伤 | 累计长度小于半径 | 累计长度小于直径 | __ |
| 标记 | 激光编?/span> | ||
| 包装 | 单片/多片包装 | ||
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