C11295 多点纳米膜厚测量�?/strong>

特�?/p>

• 多达15点同时测野�/p>

• 无参照物工作

• 通过光强波动校正功能实现长时间稳定测野�/p>

• 提醒及警报功�?通过或失�?

• 反射(透射)和光谱测野�/p>

• 高速、高准确�?/p>

• 实时测量

• 不整平薄膜精确测野�/p>

• 分析光学常数（n，k（�/p>

• 可外部控刵�/p>

参数

型号	C11295-XX*1
可测膜厚范围（玻璃）	20 nm to 100 ��m*2
测量可重复性（玻璃（�/td>	0.02 nm*3 *4
测量准确度（玻璃（�/td>	��0.4 %*4 *5
光源	氙灯
测量波长	320 nm to 1000 nm
光斑尺寸	Approx. ��1 mm*4
工作距离	10 mm*4
可测层数	*�?0屁�/td>
分析	FFT 分析，拟合分枏�/td>
测量时间	19 ms/炸�sup>*7
光纤接口形状	SMA
测量点数	2~15
外部控制功能	Ethernet
接口	USB 2.0（主单元与电脑接口） RS-232C（光源与电脑接口（�/td>
电源	AC100 V to 240 V� 50 Hz/60 Hz
功耖�/td>	�?30W�?通道）~450W�?5通道（�/td>

*1�?XX，表示测点数

*2：以 SiO2折射�?.5来转捡�/p>

*3：测�?00 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏�?/p>

*4：取决于所使用的光学系统或物镜的放大率

*5：可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中

*6：卤素灯型为C11295-XXH

*7：连续数据采集时间不包括分析时间