微光显微镜PHEMOS系列

PHEMOS-1000是一款标准型高分辨率微光显微镜，其包含了一个红外共焦激光显微镜。PHEMOS-1000可根据设备环境和设备装置来灵活改变包括插座板�?00mm双面晶片探针等等的部件。它还可以适配高灵敏度近红外相机和高分辨率纳米透镜等选配件。该显微镜有多种选配，包括红�?光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析、与大规模集成电路测试机连接和CAD导航功能等，这些选配有助于该显微镜处理多种测量需要、�/p>

黑盒照明灯含水银，请根据当地法规处理、�/p>

特�?/p>

• 可选配适用于高分辨率、高灵敏度观测的纳米透镜

• 红外共焦激光显微镜

• 红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析功能（选配（�/p>

• 低电压样品用高灵敏度近红外相机（选配（�/p>

• 数字lock-in组件加强红外-光致阻值改变的检测能力（选配（�/p>

• 可安�?00mm双面半自动探钇�/p>

显示功能

PHEMOS-1000将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰，细节更多、�/p>

显示功能

• 注释

  图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号、�/p>

• 比例显示

  可使用分段，在图像上显示比例宽度、�/p>

• 栅格显示

  图像上可现实水平和垂直栅格、�/p>

• 缩略图显礹�/p>

  图像可以以缩略图的形式存储和调用，stage坐标等图像信息也可显示、�/p>

• 分屏显示

  模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上、�/p>

参数

产品名称	PHEMOS-1000
探测目标	器件发光（发光探测功能） 电流改变（IR-OBIRCH功能（�/td>
可用器件	300 mm 晶片 200 mm晶片 方块形芯牆�/p> 切割后晶片、封装后器件（取决于探针和样品固定装置）
适配探针	200/300 mm晶片用双面半自动探针*1 200/300 mm晶片用双面手动探钇�sup>*1 200/300 mm晶片用半自动探针（正面观测）*1 200/300 mm晶片用手动探针（正面观测（�sup>*1
尺寸/重量	主单元： 1360 mm (W)��1410 mm (D)��2120 mm (H)� Approx. 900 kg*2 控制台：880 mm (W)��700 mm (D)��1542 mm (H)� Approx. 255 kg PC桌：1000 mm (W)��800 mm (D)��700 mm (H)� Approx. 45 kg
线电厊�/th>	AC220 V (50 Hz/60 Hz)
功耖�/th>	3000W
真空�?/th>	�?0 kPa
压缩空气	�?.5 MPa~0.7 MPa

*1：根据需求选购� *2：PHEMOS主单元重量包含一个探针或等效重量、�/span>