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C11011-01W微米膜厚测量?/div>
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C11011-01W 微米膜厚测量?/strong>

特?/p>

  • 利用红外光度测定进行非透明样品测量

  • 测量速度高达60 Hz

  • 测量带图纹晶圆和带保护膜的晶圅/p>

  • 长工作距禺/p>

  • 映射功能

  • 可外部控刵/p>

参数

型号 C11011-01W
可测膜厚范围(玻璃) 25 m to 2900 m*1
可测膜厚范围(硅(/td> 10 m to 1200 m*2
测量可重复性(硅) 100 nm*3
测量准确度(硅) < 500 m: 0.5 m > 500 m: 0.1 %*3
光源 红外LED?300 nm(/td>
光斑尺寸 60 m*4
工作距离 155 mm*4
可测层数 一层(也可多层测量(/td>
分析 峰值探浊/td>
测量时间 22.2 ms/炸sup>*5
外部控制功能 RS-232C / PIPE
接口 USB2.0
电源 AC100 V to 240 V 50 Hz/60 Hz
功耖/td> 50W

*1:SiO2薄膜测量特?/p>

*2:Si薄膜测量特?/p>

*3:测? m厚硅薄膜时的标准偏差

*4:可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL

*5:连续数据采集时间不包括分析时间

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