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C11627-01纳米膜厚测量仪系刖/div>
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C11627-01 纳米膜厚测量仪系刖/strong>

特?/p>

  • 无参照物工作

  • 尺寸紧凑,节省空闳/p>

  • 高速、高准确?/p>

  • 不整平薄膜精确测野/p>

  • 分析光学常数(n,k(/p>

  • 可外部控刵/p>

参数

型号 C11627-01
可测膜厚范围(玻璃) 20 nm to 50 m*1
测量可重复性(玻璃(/td> 0.02 nm*2 *3
测量准确度(玻璃(/td> 0.4 %*3 *4
光源 LED
测量波长 420 nm to 720 nm
光斑尺寸 Approx. 1 mm*3
工作距离 10 mm*3
可测层数 *?0屁/td>
分析 FFT 分析,拟合分析,光学常数分析
测量时间 19 ms/炸sup>*5
光纤接口形状 FC
外部控制功能 RS-232C,Ethernet
电源 AC100 V to 240 V 50 Hz/60 Hz
功耖/td> 70W

*1:以 SiO2折射?.5来转捡/p>

*2:测?00 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏?/p>

*3:取决于所使用的光学系统或物镜的放大率

*4:可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中

*5:连续数据采集时间不包括分析时间

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